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扩膜机

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扩膜机

扩膜机

MES系列是专门用于晶圆、LED等切割后的扩膜工序,配备PLC和触摸屏控制系统,可均匀的扩张晶粒之间的间距。

产品特点

Ø  扩膜的高度和速度可直接在触摸屏上设定;

Ø  适应MODTF2系列框架;

Ø  工作盘具有恒温加热功能,有助于膜的延伸性;

Ø  调整工作盘上升的高度,即可调整晶粒之间的间距;

Ø  选配圆周刀划膜功能;

Ø  装有气弹簧,翻盖省力功能;

Ø  7英寸触摸屏,显示参数、执行的步骤、故障报警;

Ø  采用伺服电机升降和进口气缸升降完成扩膜工序,保证扩膜的一致性;

Ø  采用松下PLC做控制系统,可设定台盘上升的预热延时、扩膜延时等功能,更好的提升了扩膜质量;

Ø  翻盖自动锁紧装置。

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